Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Verfahren zur Herstellung eines (Vielfach-) Bauelements auf Basis ultraplanarer Metallstrukturen sowie Boden-/Aufsatzelement zur Herstellung solcher Bauelemente

Method for manufacturing component or multiple components with micromechanical functional units, involves joining base element and attachment element for forming part of housing of component
 
: Reinert, W.

:
Frontpage ()

DE 2007-102007060785 A: 20071217
DE 102007060785 A: 20071217
B81C0001
B81C0003
B81B0001
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Bauelements oder Vielfachbauelements mit mikromechanischen Funktionseinheiten, bei dem ein Bodenelement und ein Aufsatzelement vorzugsweise zur Ausbildung wenigstens eines Teils eines Gehaeuses des (Vielfach-)Bauelements zusammengefuegt werden, wobei das Bodenelement und das Aufsatzelement jeweils wenigstens eine Fuegestruktur aufweisen, die zur gegenseitigen Kontaktierung nach dem Zusammenfuegen bestimmt sind, wobei wenigstens eine der Fuegestrukturen vor dem Zusammenfuegen mechanisch planarisiert wird, sowie ein Boden- oder Aufsatzelement zur Herstellung von mikromechanischen Bauelementen, hergestellt insbesondere mittels des vorstehenden Verfahrens, das wenigstens eine Fuegestruktur zum Verbinden mit einem anderen Boden- oder Aufsatzelement aufweist, wobei die Fuegestruktur mechanisch planarisiert ist.

 

DE 102007060785 A1 UPAB: 20090710 NOVELTY - The method involves joining base element (1) and an attachment element for forming a part of housing of a component. The base element and the attachment element have a joining structure (4a,4b,5a,5b). The joining structure is provided for mutual contacting. The joining structure is planarized mechanically before joining. USE - Method for manufacturing a component or multiple components with micromechanical functional units (Claimed). ADVANTAGE - The method involves joining base element and an attachment element for forming a part of housing of a component, and hence ensures to reduce the manufacturing time and temperature for joining the structure.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-106459.html