Fraunhofer-Gesellschaft

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Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Materialien, Komponenten und Maschinen

Vortrag gehalten auf der Lounges 2009, 17. - 19. März 2009, Karlsruhe
 
: Keller, Markus

2009, 42 Folien
Lounges <2009, Karlsruhe>
German
Presentation
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; equipment design; Reinraum; Kontamination; Anlagenplanung

Abstract
Methoden für die Untersuchung der Reinraumtauglichkeit müssen exakt standardisiert sein, damit eine Vergleichbarkeit gewährleistet ist. Das Equipment Design spielt schon in der frühen Entwicklungsphase eine entscheidende Rolle. Folgende Faktoren sind zu beachten:
- Strömungsoptimiertes Design (Simulation und Visualisierung)
- Vermeidung von Kontaminationen durch die Verwendung geeigneter Materialien
- Sehr geringe Ausgasungen und sehr gute ESD-Eigenschaften
- Reinigbare, chemisch resistente und sterilisierbare Oberflächen.
Qualifizierung: Endgültiger Nachweis der Reinraumtauglichkeit des Betriebsmittels am Fraunhofer IPA.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-105215.html