Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Influence of the amorphous/crystalline phase of Zr1-xAlxO2 high-k layers on the capacitance performance of metal insulator metal stacks

 
: Pakaleva, A.; Lemberger, M.; Bauer, A.J.; Weinreich, W.; Heitmann, J.; Erben, E.; Schröder, U.; Oberbeck, L.

:

Journal of applied physics 106 (2009), 5, Art. 054107, 6 pp.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-104767.html