Fraunhofer-Gesellschaft

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Elektrostatik - Ursachen, Wirkungen und Maßnahmen

 
: Matuschek, P.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
CleanRooms Europe 2001. Conference proceedings : June 26.-27, 2001, Frankfurt/M.
Frankfurt/M., 2001
CleanRooms Europe Conference <4, 2001, Frankfurt/M.>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
electrostatic discharge; Reine Produktion; Qualitätssicherung; elektrostatische Entladung; Reinraum; Reinraumtechnik; Produkt; Anlagenplanung; Überwachung; Elektrostatik

Abstract
Die Funktionsweise des Reinraums (Filterung der einströmenden Luft, turbulente oder laminare Luftströmung, Temperatur- und Luftfeuchtigkeitsregelung) fördert die Enstehung von elektrostatischen Effekten, die eine unerwünschte Gefährdung des Produkts darstellen bzw. die Funktion von Fertigungsgeräten stören. Maßnahmen zur Kontrolle der elektrostatischen Effekte müssen als ein Baustein einer ganzheitlichen Kontaminationskontrolle betrachtet und umgesetzt werden, um unter Kosten-Nutzen-Gesichtspunkten den mindest notwendigen Produktschutz zu gewährleisten. Dieser Vortrag soll eine umfassende Einführung in die Thematik der »Elektrostatischen Entladung« (ESD) als Baustein der Kontaminationskontrolle in der Qualitätskette der reinen Produktion geben.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-10066.html