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2019
Conference Proceeding
Titel
18th International Conference on Reactive Sputter Deposition, RSD 2019
Titel Supplements
December 5 - 6, 2019, Braunschweig, Germany
Beteiligt
Organisation
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig
Verlag
Fraunhofer IST
Verlagsort
Braunschweig