Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Field emitter array fabricated using focused ion and electron beam induced reaction

 
: Yavas, O.; Ochiai, C.; Takai, M.; Park, Y.K.; Lehrer, C.; Lipp, S.; Frey, L.; Ryssel, H.; Hosono, A.; Okuda, S.

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 18 (2000), No.2, pp.976-979
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-90025.html