English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Einsatzerfahrungen mit einer Multiplex-Ätzanlage für tiefes Siliziumätzen
Details
Full
Export
Statistics
Options
2001
Conference Paper
Titel
Einsatzerfahrungen mit einer Multiplex-Ätzanlage für tiefes Siliziumätzen
Author(s)
Küchler, M.
Hiller, K.
Hahn, R.
Bertz, A.
Gessner, T.
Hauptwerk
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2001
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM