Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Einsatzerfahrungen mit einer Multiplex-Ätzanlage für tiefes Siliziumätzen

 
: Küchler, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Bertz, A.; Gessner, T.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
pp.159-165
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-82661.html