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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
| TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8 |
| Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IZM () |