2001
Conference Paper
Title

Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip

Author(s)
Hiller, K.
Kurth, S.
Zichner, N.
Gessner, T.
Dötzel, W.
Iwert, T.
Fritsch, H.
Biehl, S.
Mainwork
Conference
Language
German