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Konferenzschrift
On-Wafer Messsystem zur Qualifizierung und Evaluierung von Dünnschicht-Gassensoren
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2000
Conference Paper
Titel
On-Wafer Messsystem zur Qualifizierung und Evaluierung von Dünnschicht-Gassensoren
Author(s)
Kühner, G.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Rault, A.
Sulz, G.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Wöllenstein, J.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Böttner, H.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Hauptwerk
Sensoren und Meßsysteme
Konferenz
Tagung Sensoren und Meßsysteme 2000
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM