Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Evaluation of ion projection using heavy ions suitable for resistless patterning of thin magnetic films

 
: Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Berger, R.; Grimm, H.; Dietzel, A.; Letzkus, F.; Springer, R.

:

Microelectronic engineering 61-62 (2002), pp.295-300
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-82403.html