Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

In-situ-Messungen an Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik mit optischen Methoden

 
: Faust, W.; Bombach, C.; Pritzke, B.; Michel, B.

TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik : 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23./24. Oktober 2001
Chemnitz: TU Chemnitz, 2001
ISBN: 3-00-008201-8
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <5, 2001, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-82386.html