Fraunhofer-Gesellschaft

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Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen

 
: Klocke, F.; Bresseler, B.; Helbig, J.; Heselhaus, M.; Leifhelm, G.; Pähler, D.

Hesselbach, J. ; TU Braunschweig, Institut für Werkzeugmaschinen und Fertigungstechnik -IWF-:
Feinbearbeitung im neuen Jahrtausend. Innovationen und Trends : 10. Internationales Braunschweiger Feinbearbeitungskolloquium (FBK), 07. - 09. Oktober 2002, Braunschweig
Essen: Vulkan-Verlag, 2002 (Schriftenreihe des IWF)
ISBN: 3-8027-8667-X
Internationales Braunschweiger Feinbearbeitungskolloquium (FBK) <10, 2002, Braunschweig>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()
Ultrapräzisionszerspanung; Ultrapräzisionsmaschine; Diamantzerspanung; Ultraschall; Abformung; Abformwerkzeug; Diamant; Glas; Silizium; Schleifen; Glasabformung; wafer; Solarzelle; Strukturieren; Ultraschallschwingläppen

Abstract
Die Fertigung von Präzisionsoberflächen ist hauptsächlich gekennzeichnet durch Forderungen nach engen Toleranzen und hohen Oberflächengüten, um einer geforderten Funktionalität gerecht zu werden. Dabei grenzt die Funktionalität des Werkstoffspektrum und die geeigneten Bearbeitungsverfahren ein, wobei eine Abstimmung zwischen Werkstoff und Verfahren unabdingbar ist. Dieses Spannungsfeld soll anhand der Bearbeitung von Silizium verdeutlicht werden, wobei auf die Weiterentwicklung konventioneller Verfahren und den Einsatz neuartiger Bearbeitungsmethoden eingegangen wird.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-81360.html