Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Kontrolle der Matrize sichert das Prägeergebnis

 
: Pfeifer, T.; Schneefuß, K.

Industrie-Anzeiger 124 (2002), pp.44
ISSN: 0019-9036
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()
Interferometrie; großflächige Mikrostrukturprüfung

Abstract
Die Qualität großflächiger Mikrostrukturen zu prüfen, ist eine besondere Herausforderung für die optische Messtechnik. Wer interferometrische Auswertung einsetzt, kann die Messzeit entscheidend verringern.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-81294.html