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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Kontrolle der Matrize sichert das Prägeergebnis
 
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2002
Journal Article
Title

Kontrolle der Matrize sichert das Prägeergebnis

Abstract
Die Qualität großflächiger Mikrostrukturen zu prüfen, ist eine besondere Herausforderung für die optische Messtechnik. Wer interferometrische Auswertung einsetzt, kann die Messzeit entscheidend verringern.
Author(s)
Pfeifer, Tilo
Schneefuß, Karsten
Journal
Industrie-Anzeiger  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
Keyword(s)
  • Interferometrie

  • großflächige Mikrostrukturprüfung

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