Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Kontrolle der Matrize sichert das Prägeergebnis
Abstract
Die Qualität großflächiger Mikrostrukturen zu prüfen, ist eine besondere Herausforderung für die optische Messtechnik. Wer interferometrische Auswertung einsetzt, kann die Messzeit entscheidend verringern.