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2002
Journal Article
Title
Kontrolle der Matrize sichert das Prägeergebnis
Abstract
Die Qualität großflächiger Mikrostrukturen zu prüfen, ist eine besondere Herausforderung für die optische Messtechnik. Wer interferometrische Auswertung einsetzt, kann die Messzeit entscheidend verringern.
Language
German