Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchungen zur Abscheidung siliziumbasierter Schichtsysteme mittels Remote-Plasmaverfahren bei Atmosphärendruck

 
: Rogler, D.

Zwickau, 1999
Zwickau, FH, Dipl.-Arb., 1999
German
Thesis
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-79351.html