Herstellung und Qualitätsprüfung großflächiger mikro- und nanostrukturierter Produkte

Oberflächen, die Strukturen im Nano- und Mikrometerbereich aufweisen, können als Problemlösung in zahlreichen technischen Bereichen dienen. Zur direkten Fertigung mikrostrukturierter Oberflächen bieten sich neben Fertigungsverfahren aus der Mikroelektronik auch konventionelle spannende Verfahren an. Über Vervielfältigungstechniken lassen sich in weiteren Schritten großflächige Kopien der gefertigten Oberflächenstruktur erzeugen. Für die Qualitätsprüfung der großflächigen Mikrostrukturen müssen bestehende Messsysteme vor allem hinsichtlich der Messung steiler Kanten und der Messzeit optimiert werden. Lösungsmöglichkeiten bestehen in der aktiven Positionierung und der Verwendung der Mehrwellenlängen-Formprüfinterferometrie.