Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mo/Si-multilayers for EUV applications prepared by pulsed laser deposition (PLD)

 
: Braun, S.; Dietsch, R.; Haidl, M.; Holz, T.; Mai, H.; Müllender, S.; Scholz, R.

:

Microelectronic engineering 57-58 (2001), pp.9-15
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-75710.html