Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Deformation behavior of micro mirror arrays under optical power
| Michel, B.; Winkler, T.; Werner, M.; Fecht, H.-J. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
MicroMat 2000. Proceedings 3rd International Conference and Exhibition Micro Materials : April 17 - 19, 2000, Berlin, Germany
Dresden: ddp Goldenbogen, 2000
ISBN: 3-932434-15-3
pp.1210-1212 |
| Micro Materials (Micro Mat) <3, 2000, Berlin> |
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| Conference Paper |
| Fraunhofer IZM () |