Publica

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Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik

: Sommer, M.H.

	Aachen: Shaker, 2000, VI, 120 pp. : Ill. Zugl.: Aachen, TH, Diss., 2000 Berichte aus der Lasertechnik ISBN: 3-8265-7564-4

	German
	Dissertation
	Fraunhofer ILT ()
	integrierte Optoelektronik; Lithographie; Prozessanalyse