Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik

 
: Sommer, M.H.

Aachen: Shaker, 2000, VI, 120 pp. : Ill.
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 2000
Berichte aus der Lasertechnik
ISBN: 3-8265-7564-4
German
Dissertation
Fraunhofer ILT ()
integrierte Optoelektronik; Lithographie; Prozessanalyse

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-73335.html