Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reducing airborne molecular contamination by efficient purging of FOUPs for 300-mm wafers. The influence of material properties

 
: Frickinger, J.; Bügler, J.; Zielonka, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Hollemann, S.; Schneider, H.

:

IEEE transactions on semiconductor manufacturing 13 (2000), No.4, pp.427-433
ISSN: 0894-6507
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-72441.html