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Abschlussarbeit
Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid
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2001
Doctoral Thesis
Title
Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid
Thesis Note
Magdeburg, Univ., Diss., 2001
Author(s)
Krause, U.
Publishing Place
Magdeburg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP