Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Das Verhalten der elektrischen Parameter beim bipolaren Puls-Magnetron-Sputtern am Beispiel von Zinn- und Zinkoxid

 
: Krause, U.

Magdeburg, 2001, VII, 150 Bl. : Ill.
Magdeburg, Univ., Diss., 2001
German
Dissertation
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-72093.html