Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen

 
: Schulze, M.

Magdeburg, 2001, 138 Bl. : Ill.
Magdeburg, Univ., Diss., 2001
German
Dissertation
Fraunhofer FEP ()
Magnetronsputtern; Titan; Titandioxid; Glimmentladung; Plasmadiagnostik; Emissionsspektroskopie

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-72091.html