Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern

 
: Koka, Ashraf

Saarbrücken, 1999, 73 pp.
Saarbrücken, Univ., Dipl.-Arb., 1999
German
Thesis
Fraunhofer IZFP ()
Haftqualität; Silizium; Ultraschall; Wafer

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-72001.html