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  4. Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern
 
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1999
Diploma Thesis
Title

Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern

Thesis Note
Saarbrücken, Univ., Dipl.-Arb., 1999
Author(s)
Koka, Ashraf
Publishing Place
Saarbrücken
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren IZFP  
Keyword(s)
  • Haftqualität

  • Silizium

  • Ultraschall

  • Wafer

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