Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Struktur und Eigenschaften von Schichtsystemen für den EUV-Spektralbereich

 
: Feigl, T.

Jena, 2000, 81 pp. : Ill.
Jena, Univ., Diss., 2000
German
Dissertation
Fraunhofer IOF ()
Molybdän; silicium; Mehrschichtsystem; extremes Ultraviolett

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-69044.html