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2000
Doctoral Thesis
Titel
Physikalische Grundlagenuntersuchungen zur Prozeßstabilität und zur Homogenität des Teilchen- und Energiestroms auf das Substrat beim stationären reaktiven Pulssputtern mit dem Doppelringmagnetron
ThesisNote
Magdeburg, Univ., Diss., 2000
Verlagsort
Magdeburg