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Abschlussarbeit
Untersuchungen zum diffusen katodischen Vakuumbogen bei der plasmaaktivierten Hochratebedampfung
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2000
Doctoral Thesis
Title
Untersuchungen zum diffusen katodischen Vakuumbogen bei der plasmaaktivierten Hochratebedampfung
Thesis Note
Magdeburg, Univ., Diss., 2000
Author(s)
Scheffel, B.
Publishing Place
Magdeburg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP