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2001
Journal Article
Titel
Hochbelastbare Composit-Schichtwerkstoffe für neue Fertigungsverfahren zur kostengünstigen Herstellung refraktiver und diffraktiver optischer Komponenten aus anorganischen Gläsern
Abstract
In Zukunftstechnologien der Mikrooptik, Telekommunikation, Mikrotechnik und Lasertechnik besteht ein hoher Bedarf an speziellen optischen Komponenten, bei denen die Oberflächen zum Erzielen diffraktiver bzw. asphärisch refraktiver optischer Wirkungen fresnel- und gitterstrukturartige Konturen aufweisen müssen. Ziel ist es, solche Komponenten aus anorganischen Gläsern durch Heißpreß- und -prägeverfahren herzustellen. Hierzu müssen auf Preß- und Prägewerkzeuge Beschichtungen aufgebracht werden, die das Verkleben von Werkzeugoberflächen mit den geformten Gläsern wirksam unterbinden. Darüber hinaus sind an die Schichtmaterialien und die Abscheidetechnik weitere sehr hohe Anforderungen gestellt. So muß an den Werkzeugen eine hinreichend gute Schichthaftung und ausreichende Schichtstabilität bis in den Bereich der Formgebungstemperaturen, die über 600øC liegen, gewährleistet sein. Auch müssen die Beschichtungen an ihrer Oberfläche die gewünschte optische Glätte und eine konturgetreue Nachbildung von Gitterkanten und Vertiefungen aufweisen. Im Vortrag wurden Wege aufgezeigt, wie durch neue Schichtmaterialien und Abscheidetechniken hohe Belastbarkeiten der Formenoberflächen und optisch wirksame Strukturdimensionen im Submikrometerbereich mit Strukturbreiten und Strukturhöhen im Verhältnis 1:1 und höher erreicht werden.