Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Strukturieren mit Laserstrahlung

 
: Kreutz, E.W.; Berden, T.; Weichenhain, R.; Horn, A.; Jacquorie, M.

SVMT-matCH (2000), No.1, pp.4-8
German
Journal Article
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Das Laserstrukturieren ermöglicht Strukturgenauigkeiten von wenigen mu m bei Strukturgrößen von wenigen mu m bis einigen mm. Als serielles Verfahren zeigt es eine hohe Flexibilität bezüglich der Geometrie und Geometrieveränderung, die durch Variation des CAD-Programmes und ändern der Bearbeitungsstrategie ermöglicht werden. Die Laserstrukturierung eignet sich vor allem für solche Anwendungsfälle, wo bei kleinen Stückzahlen hohe Präzision erforderlich ist und konventionelle Strukturierungsverfahren aus der Halbleiterelektronik nicht einsetzbar sind. In Kombination mit konventionellen Verfahren wie EDM und ECM ist es ein ideales Werkzeug für die Herstellung von Präzisionswerkzeugen, Mikrosystemen und Sensoren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-66045.html