Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Different pulse techniques for stationary reactive sputtering with double ring magnetron

 
: Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.; Gottfried, C.

:

Surface and coatings technology 120/121 (1999), No.3-4, pp.723 ff
ISSN: 0257-8972
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-64630.html