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Konferenzschrift
Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
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1999
Conference Paper
Titel
Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
Author(s)
Knöfler, R.
Bertz, A.
Wolf, K.
Küchler, M.
Gessner, T.
Hauptwerk
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 1999
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM