Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz
| Dötzel, W.:
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik : 11./12. Oktober 1999
Chemnitz: TU, 1999
ISBN: 3-00-004902-9
pp.123 |
| Fachtagung Mikrosystemtechnik <4, 1999, Chemnitz> |
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| German |
| Conference Paper |
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