1999
Conference Paper
Title

Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz

Author(s)
Wiemer, M.
Hiller, K.
Hahn, R.
Kaufmann, C.
Kurth, S.
Kehr, K.
Gessner, T.
Dötzel, W.
Mainwork
Conference
Language
German