Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz

 

Dötzel, W.:
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik : 11./12. Oktober 1999
Chemnitz: TU, 1999
ISBN: 3-00-004902-9
pp.123
Fachtagung Mikrosystemtechnik <4, 1999, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-63063.html