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Konferenzschrift
Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik
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1999
Conference Paper
Titel
Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik
Author(s)
Wibbeler, J.
Steiniger, C.
Wolf, K.
Symanzik, H.
Dötzel, W.
Mehner, J.
Hauptwerk
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik
Konferenz
Fachtagung Mikrosystemtechnik 1999
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM