English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse
Details
Full
Export
Statistics
Options
1999
Conference Paper
Titel
Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse
Author(s)
Wibbeler, J.
Küchler, M.
Steiniger, C.
Bertz, A.
Wolf, K.
Mehner, J.
Gessner, T.
Hauptwerk
Maschinenbau im Informationszeitalter. 44. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Konferenz
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 1999
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM