Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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CMOS-kompatible Herstellung miniaturisierter Silicium-Vibrationssensoren für die Messung im Bereich hoher Beschleunigungsamplituden zur Werkzeugüberwachung

 
: Thomas, J.; Schnupp, R.; Ryssel, H.

Dötzel, W.:
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik : 11./12. Oktober 1999
Chemnitz: TU, 1999
ISBN: 3-00-004902-9
pp.110
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <4, 1999, Chemnitz>
Fachtagung Mikrosystemtechnik <4, 1999, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-62488.html