Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung
| Aachen: Shaker, 1999, X, 130 pp.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 5/99 |
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| German |
| Dissertation |
| Fraunhofer IIS B ( IISB) () |
| Vertikalofen; Widerstandsofen; wafer; CVD-Verfahren; nitride; Prozeßsimulation |