1999
Doctoral Thesis
Title

Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung

Thesis Note
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999
Author(s)
Poscher, S.
Advisor(s)
Ryssel, H.
Publisher
Publishing Place
Aachen
Language
German
Keyword(s)