Fraunhofer-Gesellschaft

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Dynamisches Verhalten von mikromechanischen Systemen unter Berücksichtigung von Nichtlinearitäten

 
: Reitz, S.; Haase, J.; Schwarz, P.

John, W.; Groß, W.; Laur, R. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
7. Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 1999. Tagungsband
Paderborn: C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1999
pp.59-66
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen <7, 1999, Paderborn>
German
Conference Paper
Fraunhofer IIS A ( IIS) ()
Mehrdeutigkeit; Mikromechanik; Nichtlinearität; Übertragungsverhalten; Balkenmodell

Abstract
Mehrdeutigkeiten in Übertragungskennlinien mikromechanischer Anordnungen sind simulierbar, wenn nichtlineare Effekte bei der Modellierung beachtet werden. Diese Mehrdeutigkeiten äußern sich z.B. im Auftreten mehrerer eingeschwungener Zustände bei sinusförmiger Anregung. Eine besondere Rolle bei der Modellierung spielen in diesem Zusammenhang geometrische Nichtlinearitäten. Diese werden in einem im Beitrag vorgestellten Balkenmodell für die Systemsimulation berücksichtigt. Am Beispiel der Simulation einer zweiseitig eingespannten Balkenanordnung mit Saber werden unter Verwendung dieses Modells Mehrdeutigkeiten nachgewiesen. Die direkte Berechnung mehrdeutiger Übertragungskennlinien erweist sich in der Regel als aufwendig. Vorgestellt wird deshalb im zweiten Teil ein auf dem Ansatz der harmonischen Balance basierendes Verfahren, mit dem mehrdeutige Übertragungskennlinien bestimmt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-60915.html