Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Partikelmessungen auf Oberflächen

 
: Klumpp, B.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990 : 27. und 28. März 1990
Stuttgart, 1990
11 pp.
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop)
Meßtechnisches Praktikum
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Messen; Meßverfahren; Oberfläche; Oberflächeneigenschaft; Partikelmeßtechnik; Reinraum; Teilchen

Abstract
In diesem Artikel wird eine Übersicht über die Messverfahren zur Messung von Sub-um-Partikeln auf allen Arten von Oberflächen gegeben. Es werden Streulichtmessverfahren, Lichtmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie und automatisierte Messverfahren beschrieben.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-52528.html