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2002
Report
Titel
Entwicklung von PbTe-Sputterschichten und Si1-XGeX-PECVD-Schichten für thermoelektrische Generatoren und IR-Detektoren für mittlere Temperaturen
Titel Supplements
Berichtszeitraum: 01.10.1999 - 30.09.2002. Abschlussbericht
Beteiligt
Organisation
Fraunhofer-Institut für Physikalische Meßtechnik -IPM-, Freiburg/Brsg.
Verlagsort
Freiburg