Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ion projection sensitized selective Cu electroplating on uncoated p-Si

 
: Spiegel, A.; Brünger, W.H.; Dzionk, C.; Schmuki, P.

:

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 20 (2002), No.6, pp.2713-2716
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-301875.html