Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Comparison of layer properties deposited with unipolar and bipolar pulsed magnetron sputtering

 
: Krause, U.; Peters, C.; Rettich, T.; Wiedemuth, P.

Klages, C.-P.; Gläser, H.J. ; Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig; Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
4th International Conference on Coatings on Glass 2002. Proceedings : Advanced Coatings on Glass & Plastics for Large-Area High-Volume Products, November 3 - November 7, 2002, Braunschweig, Germany
Braunschweig, 2002
International Conference on Coatings on Glass (ICCG) <4, 2002, Braunschweig>
English
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/B-301646.html