Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion
Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Haist, Tobias; Osten, Wolfgang; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert
Aufsatz in Buch
2011Registrierung multimodaler Messungen am Beispiel eines MEMS
Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Osten, Wolfgang; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert; Shaw, Laura; Weckenmann, Albert; Herffurth, Tobias; Duparré, Angela; Tünnermann, Andreas; Staude, Andreas; Goebbels, Jürgen
Aufsatz in Buch
2010Verlässlichkeitsanalyse von Indikator-Funktionen in einem Automatisierten Multiskalen-Messsystem
Burla, Avinash; Lyda, Wolfram; Osten, Wolfgang; Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver
Zeitschriftenaufsatz
2007Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme
Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Wiesendanger, Tobias; Zimmermann, Jan
Konferenzbeitrag