Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Gas Discharge Electron Sources - Powerful Tools for Thin-Film Technologies
Zimmermann, Burkhard; Mattausch, Gösta; Fietzke, Fred; Scheffel, Bert; Heinß, Jens-Peter; Top, Michiel; Metzner, Christoph
Zeitschriftenaufsatz
2020Rate and Composition Control for Plasma-assisted EB-PVD Processes by Optical Emission Spectroscopy
Zimmermann, Burkhard; Mattausch, Gösta; Metzner, Christoph
Zeitschriftenaufsatz
2019Rate and Composition Control for Plasma-assisted EB-PVD Processes by Optical Emission Spectroscopy
Zimmermann, Burkhard; Mattausch, Gösta; Metzner, Christoph
Zeitschriftenaufsatz
2013High rate PECVD of a-C:H coatings in a hollow cathode arc plasma
Zimmermann, Burkhard; Fietzke, Fred; Klostermann, Heidrun; Lehmann, Jan; Munnik, Frans; Möller, Wolfhard
Konferenzbeitrag
2012High rate deposition of amorphous hydrogenated carbon films by hollow cathode arc PECVD
Zimmermann, Burkhard; Fietzke, Fred; Klostermann, Heidrun; Lehmann, Jan; Munnik, Frans; Möller, Wolfhard
Zeitschriftenaufsatz