Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Status report on EUV source development and EUV source applications in EUVL
Bakshi, V.; Lebert, R.; Jägle, B.; Wies, C.; Stamm, U.; Kleinschmidt, J.; Schriever, G.; Ziener, C.; Corthout, M.; Pankert, J.; Bergmann, K.; Neff, W.; Egbert, A.; Gustafson, D.
Konferenzbeitrag
2001Preliminary results from key experiments on sources for EUV lithography
Lebert, R.; Aschke, L.; Bergmann, K.; Dusterer, S.; Gabel, K.; Hoffmann, D.; Loosen, P.; Neff, W.; Nickles, P.; Rosier, O.; Poprawe, R.; Rudolph, D.; Sandner, W.; Sauerbrey, R.; Schmahl, G.; Schwoerer, H.; Stiehl, H.; Will, I.; Ziener, C.
Zeitschriftenaufsatz
2000Extreme-ultraviolet source development: a comparison of different concepts
Schriever, G.; Rahe, M.; Rebhan, M.; Basting, D.; Walecki, W.J.; Lauth, H.; Lebert, R.; Bergmann, K.; Hoffmann, D.; Rosier, O.; Neff, W.; Poprawe, R.; Sauerbrey, R.; Schroerer, H.; Düsterer, S.; Ziener, C.; Nickles, P.; Stiehl, H.; Will, I.; Sandner, W.; Schahl, G.; Rudolph, D.
Konferenzbeitrag