Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005Fabrication and characterization of a micro-machined ultrasonic transducer
Jia, C.; Wiemer, M.; Zichner, N.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2001Bulk micromachined and wafer bonded resonators for vacuum pressure measurement
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S.
Konferenzbeitrag
2001Micromachined pressure gauge for the vacuum range based on damping of a resonator
Kurth, S.; Hiller, K.; Zichner, N.; Mehner, J.; Iwert, T.; Biehl, S.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2001Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S.
Konferenzbeitrag