Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Structure and stressed state of molybdenum layers in Mo/Si multilayers
Pinegyn, V.; Zubarev, E.N.; Kondratenko, V.V.; Sevryukova, V.A.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz
2008The structure of Mo/Si multilayers prepared in the conditions of ionic assistance
Zubarev, E.N.; Kondratenko, V.V.; Sevryukova, V.A.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz
2007The structure, diffusion and phase formation in Mo/Si multilayers with stressed Mo layers
Zubarev, E.N.; Zhurba, A.V.; Kondratenko, V.V.; Pinegyn, V.I.; Sevryukova, V.A.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz
2003Spectral reflectance tuning of EUV mirrors for metrology applications
Yulin, S.A.; Kuhlmann, T.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2002Design and fabrication of broadband EUV multilayer mirrors
Kuhlmann, T.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Bernitzki, H.; Lauth, H.
Konferenzbeitrag
2002High-performance 6-inch EUV mask blanks produced under real production conditions by ion-beam sputter deposition
Becker, H.W.; Sobel, F.; Aschke, L.; Renno, M.; Krieger, J.; Buttgereit, U.; Hess, G.; Lenzen, F.; Knapp, K.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kuhlmann, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag