Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Entwicklung von Zellenrechnern für die Halbleiterfertigung
Schäfer, W.; Wohnhas, S.
Konferenzbeitrag
1991Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen
Schäfer, W.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1988Halbleiterfertigung - Identifikation - Voraussetzung fuer die Materialflussautomatisierung. Tl.3
Warnecke, H.-J.; Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1988Halbleiterfertigung. Vermeidung von Umhordevorgaengen als Strategie zur Materialflussoptimierung. Tl.2
Mack, A.; Sauter, K.-D.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1988Reduction of wafer transfer for optimizing material flow
Mack, A.; Sauter, K.-D.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1987Halbleiterfertigungstechnik. Tl.1. Vom Labor zur Fertigung
Mack, A.; Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1987Systemfaehigkeit unabdingbar - Ratiopotential in der Halbleiterfertigungstechnik
Mack, A.; Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz