Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Utilizing coupled process and device simulation for optimization of sub-quarter-micron CMOS technology
Wittl, J.; Burenkov, A.; Tietzel, K.; Müller, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1998Optimization of critical ion implantation steps in 0.18 mu m CMOS technology
Burenkov, A.; Wittl, J.; Schwalke, U.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag