Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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1988Laserinduzierte Temperaturverteilung in dünnen Silizium-Membranen
Putzar, R.; Wilke, I.
Abstract
1987Laser-induced metal deposition on silicon membranes for X-ray lithography
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Konferenzbeitrag
1987Repair of clear X-ray mask defects by laser-induced metal deposition
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Zeitschriftenaufsatz