Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2007 | Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme
Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Wiesendanger, Tobias; Zimmermann, Jan | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Multiskalige Mess- und Prüfstrategien in der Mikro- und Nanomesstechnik
Westkämper, E.; Osten, W.; Regin, J.; Wiesendanger, T. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Multiskalige Messstrategien für die Mikrosystemtechnik
Regin, J.; Neher, J.; Pannekamp, J.; Westkämper, E.; Wiesendanger, T.; Osten, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Neue multiskalige Mess- und Prüfstrategien für die Produktion von Mikrosystemen
Wiesendanger, T.; Osten, W.; Pannekamp, J.; Regin, J.; Westkämper, E. | Konferenzbeitrag |