Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Status report on EUV source development and EUV source applications in EUVL
Bakshi, V.; Lebert, R.; Jägle, B.; Wies, C.; Stamm, U.; Kleinschmidt, J.; Schriever, G.; Ziener, C.; Corthout, M.; Pankert, J.; Bergmann, K.; Neff, W.; Egbert, A.; Gustafson, D.
Konferenzbeitrag
2005Progress on EUV-source development, tool integration and applications
Lebert, R.; Jaegle, B.; Wies, C.; Stamm, U.; Kleinschmidt, J.; Gaebel, K.; Schriever, G.; Pankert, J.; Bergmann, K.; Neff, W.; Egbert, A.
Konferenzbeitrag
2004Compact laboratory EUV-lamps: "In-house beamlines" for technologies based on extreme ultraviolet radiation
Lebert, R.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Wies, C.; Neff, W.; Barthel, J.; Walter, K.; Bergmann, K.; Schürmann, M.C.; Mißalla, T.
Aufsatz in Buch
2004Extreme ultraviolet radiation from pulsed discharges: A new access to "nanoscopy" and "nanolytics"
Lebert, R.; Wies, C.; Juschkin, L.; Jägle, B.; Neff, W.; Barthel, J.; Walter, K.; Bergmann, K.
Aufsatz in Buch
2004High-throughput EUV reflectometer for EUV mask blanks
Lebert, R.; Wies, C.; Juschkin, L.; Jägle, B.; Meisen, M.; Aschke, L.; Sobel, F.; Seitz, H.; Scholze, F.; Ulm, G.; Walter, K.; Neff, W.; Bergmann, K.; Biel, W.
Konferenzbeitrag
2004Status of EUV-lamp development and demonstration of applications
Lebert, R.; Wies, C.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Bieberle, U.; Meisen, M.; Neff, W.; Bergmann, K.; Walter, K.; Rosier, O.; Schuermann, M.C.; Missalla, T.
Konferenzbeitrag