Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik
Wibbeler, J.; Steiniger, C.; Wolf, K.; Symanzik, H.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
1999Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse
Wibbeler, J.; Küchler, M.; Steiniger, C.; Bertz, A.; Wolf, K.; Mehner, J.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag